[实用新型]平行光单面曝光装置有效
申请号: | 201420717992.5 | 申请日: | 2014-11-26 |
公开(公告)号: | CN204203629U | 公开(公告)日: | 2015-03-11 |
发明(设计)人: | 范金刚;蓝学军 | 申请(专利权)人: | 深圳市博宇佳瑞光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 | 代理人: | 皮发泉 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种平行光单面曝光装置,该装置包括机台、玻璃曝光台面、直线传动机构、气路组件和橡皮框;直线传动机构上活动安设有沿该直线传动机构做直线匀速运动的灯箱,灯箱内置有曝光灯,且该灯箱上设有冷却组件;橡皮框的一端铰接在玻璃曝光台面的末端上,且该橡皮框与玻璃曝光台面接触贴合围合成容纳该被曝光物的腔体;气路组件包括置于机台内的真空泵及与真空泵电连接的电磁阀和置于橡皮框上的抽气嘴和气管接头。本实用新型增设气路组件和橡皮框,橡皮框与玻璃曝光台面的接触能确保四周不漏气,且气路组件可确保原稿与被曝光物贴合,解决现有的曝光装置对大小不一样的被曝光物的曝光时间相同而消耗同样多的电能,避免了能耗的损失。 | ||
搜索关键词: | 平行 单面 曝光 装置 | ||
【主权项】:
一种平行光单面曝光装置,其特征在于,包括机台、置于机台上且用于放置被曝光物的玻璃曝光台面、置于玻璃曝光台面下方的直线传动机构、用于保证工作时被曝光物与玻璃曝光台面贴合的气路组件和粘接有橡皮布的橡皮框;所述直线传动机构上活动安设有沿该直线传动机构做直线匀速运动的灯箱,所述灯箱内置有曝光灯,且该灯箱上设有冷却组件;所述橡皮框的一端铰接在玻璃曝光台面的末端上,且该橡皮框与玻璃曝光台面接触贴合围合成容纳该被曝光物的腔体;所述气路组件包括置于机台内的真空泵及与真空泵电连接的电磁阀和置于橡皮框上的抽气嘴和气管接头,该电磁阀常态时,上述腔体依次经抽气嘴、气管接头、真空气管与电磁阀形成的气路与大气连通;该电磁阀通电时,真空泵经电磁阀、真空气管、气管接头、抽气嘴与上述腔体连通。
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