[实用新型]一种蓝宝石线切厚薄均衡的加工系统有效
申请号: | 201420723070.5 | 申请日: | 2014-11-27 |
公开(公告)号: | CN204278272U | 公开(公告)日: | 2015-04-22 |
发明(设计)人: | 郑松森;李建勳 | 申请(专利权)人: | 南京京晶光电科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 贺翔 |
地址: | 211599 江苏省南京市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种蓝宝石线切厚薄均衡的加工系统,包括:切割机、晶棒、AB胶、玻璃板、载具,其中切割机包括:晶棒切割工作台、浆料管、工作台轴、槽轮及摇动轴和浆料滤网,所述AB胶涂于晶棒的圆弧顶处,所述晶棒设于玻璃板上,并定向定装于载具上,所述载具固定于晶棒切割工作台的下方。本实用新型所述的一种蓝宝石线切厚薄均衡的加工系统,在晶棒的圆弧顶部涂上AB胶,当切割机进线时,能够有效避免压线或晃动造成切割线与晶棒弧面打滑切偏,也防止切割线与蓝宝石接触时发生偏移,提高芯片的合格率,该方法保证了晶棒切割后芯片的厚度与平坦度更觉稳定,同时缩小了芯片间厚薄的差异。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 厚薄 均衡 加工 系统 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石线切厚薄均衡的加工系统,其特征在于:包括:切割机(1)、晶棒(2)、AB胶(3)、玻璃板(4)、载具(5),其中切割机(1)包括:晶棒切割工作台(6)、浆料管(7)、工作台轴(8)、槽轮及摇动轴(9)和浆料滤网(10),所述AB胶涂于晶棒(2)的圆弧顶处,所述晶棒(2)设于玻璃板(4)上,并定向定装于载具(5)上,所述 载具(5)固定于晶棒切割工作台(6)下方,所述晶棒切割工作台(6)固定于工作台轴(8)上,所述浆料管(7)设于晶棒切割工作台(6)的左侧,所述工作台轴(8)设于切割机(1)内侧的上方,所述槽轮及摇动轴(9)设于晶棒切割工作台(6)的下方,所述浆料滤网(10)设于槽轮及摇动轴(9)的中间。
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