[实用新型]一种PECVD装置

摘要

本实用新型公开了一种能够降低生产成本的PECVD装置。该装置包括设置有炉门的真空沉积室，真空沉积室内设有石墨舟，真空沉积室上设有进气口与排气口，所述排气口上连接有排放管，排放管末端连接有设置有真空泵，真空泵的出口连接有尾排管，所述真空沉积室上设置有用于打开或关闭炉门的开关装置，所述炉门包括石英炉门和位于石英炉门外侧的支撑体组成，所述支撑体采用生铁制作而成，所述支撑体的表面开有多个减轻孔。通过设置减轻孔可以减小炉门的重量，便于炉门移动，同时开关装置装置承受的负荷较小，因而，不容易损坏开关装置，能够延长开关装置的使用寿命，可以大大降低生产成本。适合在太阳能电池硅片加工设备领域推广应用。

主权项

一种PECVD装置，包括设置有炉门(1)的真空沉积室(2)，真空沉积室(2)内设有石墨舟(3)，硅片放置于石墨舟(3)上，真空沉积室(2)上设有进气口(4)与排气口(5)，所述进气口(4)上连接有用于通入制程气体的进气管(6)，所述排气口(5)上连接有排放管(8)，排放管(8)末端连接有真空泵(9)，真空泵(9)的进口与排放管(8)的出口相连，真空泵(9)的出口连接有尾排管(10)，所述真空沉积室(2)上设置有用于打开或关闭炉门(1)的开关装置(11)，其特征在于：所述炉门(1)包括石英炉门(101)和位于石英炉门(101)外侧的支撑体(102)组成，所述支撑体(102)采用生铁制作而成，所述支撑体(102)的表面开有多个减轻孔(103)。