[实用新型]真空离子镀膜机

摘要

本实用新型是一种真空离子镀膜机。包括真空镀膜室，真空镀膜室内设置有离子发射源，真空镀膜室的左右两侧分别设置有前后密封室，后密封室后方设置有保温室，前密封室和后密封室内分别设置有多扇密封门，各个密封门上均设置有感应开关；还包括位于前过渡室、前密封室、真空镀膜室、后密封室、保温室、后过渡室内的输送装置，待镀膜的板材能够通过输送装置依次进入到各个室内；真空镀膜室的一侧设置有用于抽真空的真空泵。采用上述的结构后，使膜料成为膜料蒸汽，均匀镀在玻璃片上，起到很好的密封作用，有利于提高镀膜的质量，可以起到加温作用，增强镀膜强度，更重要的是可以在镀完膜后出炉过程中使其具有过渡作用，有利于提高镀膜强度和镀膜质量。

主权项

一种真空离子镀膜机，其特征在于：包括真空镀膜室，真空镀膜室内设置有离子发射源，真空镀膜室的左右两侧分别设置有一个前密封室和一个后密封室，后密封室后方设置有保温室，所述前密封室和后密封室内分别设置有多扇密封门，各个密封门上均设置有感应开关，所述感应开关检测到板材进入进出状况后能够依次启闭前密封室或后密封室的各扇密封门使板材进入前密封室或送出后密封室；还包括位于前过渡室、前密封室、真空镀膜室、后密封室、保温室、后过渡室内的输送装置，待镀膜的板材能够通过输送装置一次进入到前过渡室、前密封室、真空镀膜室、后密封室、保温室、后过渡室内；所述真空镀膜室的一侧设置有用于抽真空的真空泵。