[实用新型]PECVD装置

摘要

本实用新型公开了一种能够降低生产成本的PECVD装置。该装置包括设置有炉门的真空沉积室，真空沉积室内设有石墨舟，所述真空沉积室上设置有开关装置，所述开关装置包括底座，所述底座的上表面设置有可移动平台以及第一驱动装置，所述可移动平台的上表面设置有可移动式支架以及第二驱动装置，所述可移动式支架上固定有支撑杆，所述支撑杆的上端固定在炉门上。由于该开关装置采用平移的方式，相比于旋转打开炉门的方式，其第一驱动装置承受的负荷较小，因而，不容易损坏第一驱动装置，能够延长第一驱动装置的使用寿命，不需要频繁更换，可以大大降低生产成本。适合在太阳能电池硅片加工设备领域推广应用。

主权项

PECVD装置，包括设置有炉门(1)的真空沉积室(2)，真空沉积室(2)内设有石墨舟(3)，硅片放置于石墨舟(3)上，真空沉积室(2)上设有进气口(4)与排气口(5)，所述进气口(4)上连接有用于通入制程气体的进气管(6)，所述排气口(5)上连接有排放管(8)，排放管(8)末端连接有真空泵(9)，真空泵(9)的进口与排放管(8)的出口相连，真空泵(9)的出口连接有尾排管(10)，所述真空沉积室(2)上设置有用于打开或关闭炉门(1)的开关装置(11)，其特征在于：所述开关装置(11)包括底座(110)，所述底座(110)的上表面设置有可移动平台(111)以及用于驱动可移动平台(111)沿水平方向移动的第一驱动装置(112)且可移动平台(111)的移动方向与真空沉积室(2)轴向方向互相垂直，所述可移动平台(111)的上表面设置有可移动式支架(113)以及用于推动可移动式支架(113)沿真空沉积室(2)轴向方向移动的第二驱动装置(114)，所述可移动式支架(113)上固定有支撑杆(115)，所述支撑杆(115)的上端固定在炉门(1)上。