[实用新型]一种单晶炉

摘要

本实用新型公开了一种能够避免一氧化碳废气长期滞留对设备造成腐蚀的单晶炉。该单晶炉，包括上炉膛、下炉膛，所述上炉膛顶部设置有籽晶旋转提升机构，下炉膛内设置有保温筒，保温筒内设置有石墨坩埚，所述石墨坩埚内设有石英坩埚，石墨坩埚外侧设置有加热器，所述石墨坩埚底部设置有坩埚旋转顶升机构，所述石墨坩埚与坩埚旋转顶升机构设置有圆形的石墨托板，所述下炉膛内设置有环形布气板，氩气经过环形布气板的均布后，整个下炉膛的上部都有向下喷出的氩气，这样氩气在向下流动的过程中就会将下炉膛内产生的废气及时裹带走，避免一氧化碳废气长期滞留对设备造成腐蚀，可以延长设备的使用寿命。适合在单晶生产设备领域推广应用。

主权项

一种单晶炉，包括上炉膛(1)、下炉膛(2)，上炉膛(1)设置在下炉膛(2)上方且上炉膛(1)通过隔离阀(3)固定在下炉膛(2)顶部，所述上炉膛(1)顶部设置有籽晶旋转提升机构(4)，所述下炉膛(2)内设置有保温筒(5)，所述保温筒(5)内设置有石墨坩埚(6)，所述石墨坩埚(6)内设有石英坩埚(7)，石墨坩埚(6)外侧设置有加热器(8)，加热器(8)位于保温筒(5)内，所述加热器(8)通过加热电极(9)固定在下炉膛(2)底部，下炉膛(2)的顶部连接有氩气管(10)，所述氩气管(10)穿过下炉膛(2)伸入到下炉膛(2)内，所述下炉膛(2)的下部设置有真空抽口(11)，所述真空抽口(11)上连接有排放管(12)，排放管(12)末端连接有真空泵(13)，真空泵(13)的进口与排放管(12)的出口相连，所述石英坩埚(7)上方设置有籽晶夹持装置(14)，所述籽晶夹持装置(14)通过传动杆(15)与籽晶旋转提升机构(4)相连，所述石墨坩埚(6)底部设置有坩埚旋转顶升机构(16)，所述石墨坩埚(6)与坩埚旋转顶升机构(16)设置有圆形的石墨托板(17)，其特征在于：所述下炉膛(2)内设置有环形布气板(20)，所述环形布气板(20)水平设置在石墨坩埚(6)的上方，所述环形布气板(20)为夹层结构，包括第一上层板(201)与第一下层板(202)，所述第一上层板(201)与第一下层板(202)之间密封形成第一夹层空间(203)，所述氩气管(10)与第一夹层空间(203)连通，所述第一下层板(202)上设置有多个第一透气孔(204)，所述多个第一透气孔(204)在第一下层板(202)上均布设置。