[实用新型]真空度测量装置有效
| 申请号： | 201420735268.5 | 申请日： | 2014-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN204202809U | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 徐志淮 | 申请（专利权）人： | 昆山彰盛奈米科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/14 | 分类号： | G01L21/14 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人： | 蔡继清;崔佳佳 |
| 地址： | 215331 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空度测量装置，用于测量聚对二甲苯真空沉积系统的真空沉积腔室的真空度。该真空度测量装置包括加热圈、导热件、真空规管、以及热电偶。导热件环绕真空规管设置，加热圈设置在导热件外部，热电偶与真空规管热连通，且真空规管与真空沉积腔室流体连通。采用本实用新型能够解决现有技术中存在的在测量真空腔室的真空度时反应中的分子沉积到电阻丝表面的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种真空度测量装置，用于测量聚对二甲苯真空沉积系统的真空沉积腔室的真空度，其特征在于：所述真空度测量装置包括加热圈、导热件、真空规管、以及热电偶，所述导热件环绕所述真空规管设置，所述加热圈设置在所述导热件外部，所述热电偶与所述真空规管热连通，且所述真空规管与所述真空沉积腔室流体连通。
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