[实用新型]一种载盘组件

摘要

本实用新型公开了一种载盘组件，其包含：主体，设置成板状并具有上表面及下表面，上表面具有1.0μm～5.0μm的表面粗糙度(Ra)并且设有一或多个基板承载区域，基板承载区域用以容置基板并且设置有第一气体通孔，第一气体通孔穿透主体；顶盖，用以覆盖主体的上表面及侧边，顶盖具有分别对应一或多个基板承载区域的一或多个穿孔，以露出容置在基板承载区域上的基板；以及密封环，设置在基板承载区域的周围，并用以在顶盖与主体之间形成独立空间，以及在基板与主体之间形成独立空间。

主权项

一种载盘组件，用以承载基板，其特征在于，所述载盘组件包括：一主体，设置成板状并具有一上表面及一下表面，其中所述上表面经过表面粗化处理以具有1.0um～5.0um的表面粗糙度并且设有一或多个基板承载区域，所述基板承载区域用以容置基板并且设置有第一气体通孔，所述第一气体通孔穿透所述主体，以及，其中在未设置所述基板承载区域的上表面，设置有第二气体通孔，所述第二气体通孔穿透所述主体；一顶盖，用以覆盖所述主体的上表面以及所述主体的侧边，所述顶盖具有一或多个穿孔，其中所述一或多个穿孔是分别对应所述一或多个基板承载区域，以露出容置在所述基板承载区域上的所述基板；以及一密封环，设置在所述基板承载区域的周围，并用以在所述顶盖与所述主体之间形成独立空间，以及在所述基板与所述主体之间形成独立空间。