[实用新型]一种新型籽晶托盘有效
| 申请号： | 201420738187.0 | 申请日： | 2014-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN204281888U | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 周学芹;史玉芬;刘小利 | 申请（专利权）人： | 常州宝颐金刚石科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B29/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型籽晶托盘，用于微波等离子体化学气相沉积装置的谐振腔腔体内，置于谐振腔腔体内的基台上，托盘的中心端面开设有凹坑，所述凹坑出口端与托盘端面所在水平面是由斜面过渡连接，所述凹坑大于1个且为方形孔，垂直凹坑可以使籽晶底面很好地与托盘凹坑底部接触，有利于籽晶和托盘间的导热；斜面可以降低电磁场的不连续性。能同时解决生长金刚石单晶过程中电磁场不连续及籽晶导热不好的技术难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 籽晶 托盘 | ||
【主权项】：
一种新型籽晶托盘，其特征在于：用于微波等离子体化学气相沉积装置的谐振腔腔体(1)内，置于谐振腔腔体内的基台(2)上，托盘(3)的中心端面开设有凹坑(4)，所述凹坑(4)出口端与托盘(3)端面所在水平面是由斜面(5)过渡连接，所述凹坑(4)大于等于1个且为方形孔。
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