[实用新型]一种MEMS麦克风、MEMS电容传感器和一种振膜有效
| 申请号： | 201420741105.8 | 申请日： | 2014-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN204425633U | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 蔡孟锦;邱冠勋;周宗燐;宋青林 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R9/02 | 分类号： | H04R9/02;H04R9/06 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 权鲜枝;吴昊 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS麦克风、MEMS电容传感器和一种振膜。本实用新型提供的振膜上设有在外气压超过预设值后开启的泄气结构。本实用新型提供的技术方案能解决现有的MEMS振膜在突然受到大的气压冲击时如吹气，容易造成破损的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 电容 传感器 | ||
【主权项】：
一种振膜，其特征在于，所述振膜上设有在外气压超过预设值后开启的泄气结构。
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