[实用新型]一种掩膜板有效
申请号: | 201420755671.4 | 申请日: | 2014-12-05 |
公开(公告)号: | CN204434717U | 公开(公告)日: | 2015-07-01 |
发明(设计)人: | 马得贵;吴俊雄;冉应刚;柯贤军;苏君海 | 申请(专利权)人: | 信利(惠州)智能显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 邓义华;陈卫 |
地址: | 516006 广东省惠州市仲*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种掩膜板,所述掩膜板包括镀膜开口区和非镀膜区,所述非镀膜区分布于镀膜开口区的四周,其特征在于,所述非镀膜区上设置有相对镀膜开口区对称分布的减薄区。本实用新型通过在镀膜开口区的外围制作减薄的区域,用以吸收在张紧掩膜板过程中掩膜板的拉伸变形,保护镀膜开口区的精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 掩膜板 | ||
【主权项】:
一种掩膜板,所述掩膜板包括镀膜开口区和非镀膜区,所述非镀膜区分布于镀膜开口区的四周,其特征在于,所述非镀膜区上设置有相对镀膜开口区中心线对称分布的减薄区。
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