[实用新型]一种石墨舟舟片拆洗夹具装置有效
| 申请号： | 201420759776.7 | 申请日： | 2014-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN204257602U | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 翟金权;赵冬;张超 | 申请（专利权）人： | 中节能太阳能科技（镇江）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京天平专利商标代理有限公司 11239 | 代理人： | 缪友菊 |
| 地址： | 212132 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石墨舟舟片拆洗夹具装置，包括两块主边板、两块挡板、舟片卡槽和支撑主横杆；所述两块主边板和两块挡板组成矩形框架，所述舟片卡槽设置在矩形框架内部，所述支撑主横杆设置在矩形框架内底部；所述舟片卡槽为两组、分别设置在所述矩形框架内部两侧，每组所述舟片卡槽连接在所述两块主边板之间。本实用新型通过设置支撑框架、设于支撑框架内用于放置石墨舟舟片的舟片卡槽，为石墨舟提供拆洗的可能，保证石墨舟舟片表面氮化硅清洗更加彻底。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 舟舟片 拆洗 夹具 装置 | ||
【主权项】：
一种石墨舟舟片拆洗夹具装置，其特征在于：包括两块主边板（1）、两块挡板（3）、舟片卡槽（5）和支撑主横杆（7）；所述两块主边板（1）和两块挡板（3）组成矩形框架，所述舟片卡槽（5）设置在矩形框架内部，所述支撑主横杆（7）设置在矩形框架内底部。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
