[实用新型]多靶大颗粒过滤装置有效
| 申请号： | 201420763565.0 | 申请日： | 2014-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN204401099U | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 单永贤 | 申请（专利权）人： | 上海金科纳米涂层技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海天协和诚知识产权代理事务所 31216 | 代理人： | 张恒康 |
| 地址： | 200082 上海市虹*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多靶大颗粒过滤装置，包括矩形盒体、靶座、靶材、可视窗口和亥姆霍兹线圈；矩形盒体的一侧安装有靶座，靶座上设有至少两个靶材安装口，靶材装在靶材安装口；矩形盒体的另一侧设有至少一个可视窗口；矩形盒体顶部设有一个基座，基座上绕有亥姆霍兹线圈。本实用新型有效的提高了靶材的利用效率并改善了膜层质量。 | ||
| 搜索关键词： | 多靶大 颗粒 过滤 装置 | ||
【主权项】：
一种多靶大颗粒过滤装置，其特征在于：包括矩形盒体、靶座、靶材、可视窗口和亥姆霍兹线圈；矩形盒体的一侧安装有靶座，靶座上设有至少两个靶材安装口，靶材装在靶材安装口；矩形盒体的另一侧设有至少一个可视窗口；矩形盒体顶部设有一个基座，基座上绕有亥姆霍兹线圈。
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