[实用新型]用于硅片链式制绒的新型传输滚轮

摘要

本实用新型公开了一种用于硅片链式制绒的新型传输滚轮，所述的传输滚轮的一端或两端设有齿轮，与链式制绒槽的传动链或传动皮带咬合，所述的传输滚轮为圆柱状结构或圆筒状结构，圆柱状结构或圆筒状结构表面设有突起，所述突起呈棱形、矩形、蜂窝形或随机分布于所述的圆柱状结构或圆筒状结构表面，本实用新型提出的滚轮表面设有突起，使得硅片同一部位与突起接触的时间很短，硅片各个部位都能有效与腐蚀液接触，从而解决滚轮印的问题；另外，硅片和腐蚀液反应中产生的气泡受到突起的挤压，使大气泡分裂成小气泡，同时，气泡受到挤压在随机分布的突起中运动，有一部分的气泡会从硅片底部排出，有效地减轻硅片底部由于气泡堆积而产生腐蚀不均匀的问题，从而使绒面更均匀。

主权项

一种用于硅片链式制绒的新型传输滚轮，所述的传输滚轮的一端或两端设有齿轮，与链式制绒槽的传动链或传动皮带咬合，其特征在于：所述的传输滚轮为圆柱状结构或圆筒状结构，圆柱状结构或圆筒状结构表面设有突起，所述突起呈棱形、矩形、蜂窝形或随机分布于所述的圆柱状结构或圆筒状结构表面。