[实用新型]消除碲锌镉材料沉淀相缺陷的热处理装置

摘要

本专利公开了一种消除碲锌镉材料沉淀相缺陷的热处理装置。装置包括石英管热处理腔体、双温区加热炉、配备N₂气源、H₂气源和Ar气源三种气源且可增压的高纯气体系统和样品热处理盒，通过使用样品热处理盒(含Cd源)和可增压惰性保护气体，在开管的热处理系统中为碲锌镉晶片提供了低泄漏和稳定的镉分压气相环境，晶片热处理温度控制在500℃到900℃之间，750℃富镉热处理的镉源损失量可控制在20mg/小时以下。该装置能用于减小碲锌镉晶片中沉淀相缺陷的尺寸，降低晶片表面沉淀相缺陷的密度，提高晶片在红外波段的透过率，同时在工艺上具备高效、低成本和多晶片同时处理等可批量生产的能力。

主权项

一种消除碲锌镉材料沉淀相缺陷的热处理装置，包括石英管热处理腔体(11)、双温区加热炉(10)、配备N₂气源(1)、H₂气源(2)和Ar气源(3)三种气源且可增压的高纯气体系统和样品热处理盒，其特征在于：所述的石英管热处理腔体(11)在进样口处设置有,石英冷却水套(12)，石英套(13)，石英冷却水套(12)和石英腔体加工成一体使进样口(14)处于室温状态；所述的样品热处理盒由盒体(15)、盒盖(16)、密封锁紧螺丝(17)和样品架(18)组成，盒体(15)的形状为长条形，一侧为样品区，另一侧为Cd源区，样品区内设置样品架(18)，样品插在样品架(18)的槽中；盒体(15)和盒盖(16)之间采用BN密封锁紧螺丝(17)密封连接。