[实用新型]提高晶体生长速度的坩埚及晶体生长装置有效
申请号: | 201420784405.4 | 申请日: | 2014-12-11 |
公开(公告)号: | CN204417640U | 公开(公告)日: | 2015-06-24 |
发明(设计)人: | 陶莹;邓树军;高宇;巴音图 | 申请(专利权)人: | 河北同光晶体有限公司 |
主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00;C30B29/36 |
代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人: | 韩敏 |
地址: | 071051 河北省保定市二环路*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型提供一种提高晶体生长速度的坩埚及晶体生长装置,所述坩埚为石墨坩埚,所述坩埚上部靠近晶体处的外径小于下部的外径,并在该部分设置一圈石墨毡,使得坩埚上下两部分整体外径相同。本实用新型通过对现有坩埚减少其上部外径(切除一定尺寸圆环柱),该处填入石墨毡的结构改进,实现降低籽晶处温度、提高温度梯度的目的,由于温度梯度的提高,进而加快了晶体的生长速度,而且易于操作,节省成本。 | ||
搜索关键词: | 提高 晶体生长 速度 坩埚 装置 | ||
【主权项】:
一种提高晶体生长速度的坩埚,所述坩埚为石墨坩埚,其特征在于:所述坩埚上部靠近晶体处的外径小于下部的外径,并在坩埚上部靠近晶体处的外壁设置一圈石墨毡,使得坩埚上下两部分整体外径相同。
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