[实用新型]薄膜刮动器

摘要

本实用新型提供一种薄膜刮动器，适于耦接至动力源的升降模块，以在取起晶粒的过程中使薄膜变形。薄膜刮动器包括壳体、滑动件、驱动件、刮动件及复位件。滑动件滑设于在壳体内。驱动件适于耦接至升降模块，以相对于壳体平移来驱动滑动件相对于壳体滑动。刮动件固接至滑动件并随着滑动件的滑动相对于壳体平移。复位件设置于壳体与滑动件之间，以相对于壳体复位滑动件。可利用动力源及升降模块通过驱动件及滑动件的配合相对于壳体来平移刮动件以在晶粒取起过程中使薄膜变形，故可降低薄膜与晶粒之间的粘力，使得真空吸嘴容易从薄膜上取走晶粒。

主权项

一种薄膜刮动器，适于耦接至动力源的升降模块，以在取起晶粒的过程中使薄膜变形，其特征在于，所述薄膜刮动器包括：壳体；滑动件，滑设于在所述壳体内；驱动件，适于耦接至所述升降模块，以相对于所述壳体平移来驱动所述滑动件相对于所述壳体滑动；刮动件，固接至所述滑动件并随着所述滑动件的滑动相对于所述壳体平移；以及复位件，设置于所述壳体与所述滑动件之间，以相对于所述壳体复位所述滑动件。