[实用新型]广视野表面缺陷检测装置有效
| 申请号： | 201420787316.5 | 申请日： | 2014-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN204287067U | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 王联;欧阳志刚;裴广庆;刘广月 | 申请（专利权）人： | 元亮科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 殷红梅 |
| 地址： | 214037 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种广视野表面缺陷检测装置，包括一个底座和固定在底座上的立柱，还包括：用于承载并夹持晶圆的承载机构，该承载机构装配在底座上，能够沿X轴移动，并能够带动晶圆水平转动；检测机构，所述检测机构装配在立柱上，能够沿立柱上下移动；检测机构能够对承载机构上的晶圆表面进行放大成像检测，并回传检测图像；控制模块，所述控制模块连接承载机构，用于控制承载机构沿X轴移动和带动晶圆水平转动，从而使得检测机构能够对晶圆表面各处部位都能成像检测；计算机系统，用于对检测机构回传的检测图像进行处理，识别图像中晶圆表面缺陷。本实用新型适用于大口径晶圆的表面检测，检测速度快、效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 视野 表面 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种广视野表面缺陷检测装置，包括一个底座(1)和固定在底座(1)上的立柱(2)，其特征在于，还包括：用于承载并夹持晶圆的承载机构(3)，该承载机构(3)装配在底座(1)上，能够沿X轴移动，并能够带动晶圆水平转动；检测机构(4)，所述检测机构(4)装配在立柱(2)上，能够沿立柱(2)上下移动；检测机构(4)能够对承载机构(3)上的晶圆表面进行放大成像检测，并回传检测图像；控制模块(5)，所述控制模块(5)连接承载机构(3)，用于控制承载机构(3)沿X轴移动和带动晶圆水平转动，从而使得检测机构(4)能够对晶圆表面各处部位都能成像检测；计算机系统(6)，分别与检测机构(4)、控制模块(5)连接，用于对检测机构回传的检测图像进行处理，识别图像中晶圆表面缺陷；并用于输出指令使得控制模块(5)控制承载机构(3)的动作。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于元亮科技有限公司，未经元亮科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420787316.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：工业CT专用可翻转检测台
- 下一篇：基于反射光路设计的瓶装液体异物检测装置
