[实用新型]一种应用于镀膜制程的叉车有效
| 申请号： | 201420793223.3 | 申请日： | 2014-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN204311128U | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 张佳佳;郑烨;尚林鹏;朱发明;叶华升;邱智中;余学志;邱树添 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种应用于镀膜制程的叉车，包括：底座、固定于底座上的竖直滑轨、沿滑轨升降的水平升降台、安装于升降台首末端的支架、放置于所述支架上方的工件盘，其特征在于：在所述支架与所述工件盘之间设置实心的载盘。利用本实用新型提供的叉车，在镀膜制程中，可有效降低晶片的破损量和灰尘污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 镀膜 叉车 | ||
【主权项】：
一种应用于镀膜制程的叉车，包括：底座、固定于底座上的竖直滑轨、沿滑轨升降的水平升降台、安装于升降台首末端的支架、放置于所述支架上方的工件盘，其特征在于：在所述支架与所述工件盘之间设置实心的载盘。
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