[实用新型]颗粒度测试仪的夹具装置有效
| 申请号： | 201420804445.0 | 申请日： | 2014-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN204315524U | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 陈国华 | 申请（专利权）人： | 南通富士通微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 孟阿妮;郭栋梁 |
| 地址： | 226006 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种颗粒度测试仪的夹具装置，包括夹盘，夹盘上设置有至少三个沿夹盘圆周方向均匀布设的卡杆，卡杆沿夹盘的径向向外悬伸，卡杆上设置有向上凸起的定位台，卡杆的上方插装有定位销，定位销位于夹盘与定位台之间。定位台以及定位销的设置实现在一台颗粒度测试仪上对不同尺寸的晶圆的颗粒度的测试。本实用新型提供的颗粒度测试仪的夹具装置，在半导体晶圆级封装领域，不需要频繁拆卸螺钉就可以方便切换8inch和12inch夹具，以便很快的测量8inch和12inch晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 颗粒 测试仪 夹具 装置 | ||
【主权项】：
一种颗粒度测试仪的夹具装置，包括夹盘，其特征在于，所述夹盘上设置有至少三个沿所述夹盘圆周方向均匀布设的卡杆，所述卡杆沿所述夹盘的径向向外悬伸，所述卡杆上设置有向上凸起的定位台，所述卡杆的上方插装有定位销，所述定位销位于所述夹盘与所述定位台之间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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