[实用新型]一种真空镀膜系统的样品室结构有效
| 申请号： | 201420804646.0 | 申请日： | 2014-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN204325478U | 公开（公告）日： | 2015-05-13 |
| 发明（设计）人： | 闫鹏;卢松松;张震 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 赵妍 |
| 地址： | 250061 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空镀膜系统的样品室结构，包括：真空腔，该真空腔的顶部固定连接有基准板；所述基准板上均布有若干个定位孔；安装于所述基准板下表面的真空纳米定位平台，真空纳米定位平台通过基准板将热量传递给真空腔的腔壁；所述真空纳米定位平台上安装有基片；真空纳米定位平台的下方设有掩膜支架，掩膜支架与基准板固定连接，且掩膜支架具有掩膜安装孔；所述真空腔的侧面设有激光尺光路口和多个功能接口；该真空腔还具有腔体门。本实用新型通过设计全新的样品室结构，实现了特定形状的镀膜沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 系统 样品 结构 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜系统的样品室结构，其特征在于，包括：真空腔，该真空腔的顶部固定连接有基准板；所述基准板上均布有若干个定位孔；安装于所述基准板下表面的真空纳米定位平台，真空纳米定位平台通过基准板将热量传递给真空腔的腔壁；所述真空纳米定位平台上安装有基片；所述真空纳米定位平台的下方设有掩膜支架，掩膜支架与基准板固定连接，且掩膜支架具有掩膜安装孔；所述真空腔的侧面设有激光尺光路口和多个功能接口；该真空腔还具有腔体门。
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