[实用新型]具有温度和湿度控制的曝光机

摘要

本实用新型公开了曝光设备领域的曝光机，包括机座，机座的前端为操作平台，机座的中端为曝光腔室，机座的后端为冷却机构，操作平台的顶部设有双工位台框、CCD自动对位装置和操控面板，曝光腔室的内部设有曝光光源组、位于曝光光源组下方的曝光台和散热装置，所述散热装置与冷却机构之间还设置有湿度自动调节机构，所述冷却机构包括定位架、温度感测器和鼓风装置。利用湿度自动调节机构控制曝光腔室内的湿度，通过智能控制曝光腔室内的湿度能够提高曝光的质量;通过冷却机构确保曝光腔室内的温度，确保曝光光源组能够长时间工作，比水冷的方式要简单，制冷均匀，制冷效果好，且便于维修。

主权项

具有温度和湿度控制的曝光机，包括机座，机座的前端为操作平台，机座的中端为曝光腔室，机座的后端为冷却机构，操作平台的底部设有控制电箱，操作平台的顶部设有双工位台框、CCD自动对位装置和操控面板，CCD自动对位装置位于双工位台框的上方，双工位台框通过滑轨交替滑入曝光腔室内，曝光腔室的内部设有曝光光源组、位于曝光光源组下方的曝光台和散热装置，散热装置位于曝光光源组的侧面，该散热装置与冷却机构相连，其特征在于：所述散热装置与冷却机构之间还设置有湿度自动调节机构，该湿度自动调节机构由吹风扇和湿度调节模组构成，湿度调节模组包括湿度感测器、湿度控制器及加湿器，湿度感测器及加湿器均与湿度控制器电气连接，吹风扇具有入风侧及出风侧，吹风扇的出风侧及加湿器均与曝光台相通;所述冷却机构包括定位架、温度感测器和鼓风装置，定位架安装于曝光腔室的后端，且与曝光腔室导通形成冷却室，温度感测器和鼓风装置安装在定位架的中间，鼓风装置与曝光腔室内的散热装置连接。