[实用新型]用于曝光机的台框升降机构有效

专利信息
申请号: 201420807256.9 申请日: 2014-12-17
公开(公告)号: CN204347436U 公开(公告)日: 2015-05-20
发明(设计)人: 袁强;刘长征 申请(专利权)人: 东莞市海圣光电科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 东莞市中正知识产权事务所 44231 代理人: 刘林
地址: 523000 广东省东莞市长安镇振安东路*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了曝光机技术领域的台框升降机构,包括方形下框组和用于固定下框组的支撑装置,所述支撑装置由结构相同且相互对称设置的左支撑装置和右支撑装置构成,该支撑装置由横向安装板、横向滑行组件、升降滑行组件、滑动气缸和用于与下框组的底部进行固定连接的连接组件构成,横向滑行组件可沿着横向安装板进行横向滑动,升降滑行组件可沿着横向安装板进行升降滑动。在下框组的底部设置有升降平台,其结构简单,由气缸带动精确移动,成本较低,能够带动下框组升降,使下框组能够升高至最佳的工作高度,以配合CCD镜头进行精准工作。
搜索关键词: 用于 曝光 升降 机构
【主权项】:
用于曝光机的台框升降机构,包括方形下框组和用于固定下框组的支撑装置,其特征在于:所述支撑装置由结构相同且相互对称设置的左支撑装置和右支撑装置构成,左支撑装置和右支撑装置分别设置于下框组的两侧底部,该支撑装置由横向安装板、横向滑行组件、升降滑行组件、滑动气缸和用于与下框组的底部进行固定连接的连接组件构成,其中,横向滑行组件、升降滑行组件和滑动气缸均设置于横向安装板的内侧面,连接组件的顶端固定在下框组的底部,连接组件的底端固定在升降滑行组件的顶端,横向滑行组件可沿着横向安装板进行横向滑动,升降滑行组件可沿着横向安装板进行升降滑动,滑动气缸的伸缩杆与横向滑行组件的前端进行连接,横向滑行组件的后端通过过渡滑块连接至升降滑行组件的前端,横向滑行组件的后端与升降滑行组件的前端之间形成能够相互滑动的倾斜接触面,当滑动气缸的伸缩杆伸长时,带动横向滑行组件向后移动,横向滑行组件同时通过倾斜接触面推动升降滑行组件身上升起,从而带动连接组件将下框组抬起。
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