[实用新型]用于曝光机的CCD移动机构有效
| 申请号： | 201420807363.1 | 申请日： | 2014-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN204347439U | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 袁强;刘长征 | 申请（专利权）人： | 东莞市海圣光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市中正知识产权事务所 44231 | 代理人： | 刘林 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市长安镇振安东路*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了曝光机技术领域的CCD移动机构，包括双轴移动平台及由双轴移动平台带动移动的CCD镜头，该双轴移动平台包括结构相同且相互对称的左移动平台和右移动平台，该双轴移动平台由Y轴移动平台和由Y轴移动平台带动移动的X轴移动平台构成，第一固定座由第一X轴移动平台带动沿X轴方向移动，第二固定座由第二X轴移动平台带动沿X轴方向移动。由双轴移动平台分别独立控制每个CCD镜头进行精确定位移动，实现X轴和Y轴的极限范围内任一点的移动，另外，采用步进电机来驱动其移动，与传统的气缸驱动结构相比，动作更敏捷，速度更快，移动位置更准确，符合当今高品质，高效率的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 曝光 ccd 移动 机构 | ||
【主权项】：
用于曝光机的CCD移动机构，包括双轴移动平台及由双轴移动平台带动移动的CCD镜头，该双轴移动平台包括结构相同且相互对称的左移动平台和右移动平台，其特征在于：该双轴移动平台由Y轴移动平台和由Y轴移动平台带动移动的X轴移动平台构成，Y轴移动平台包括Y轴运动座、Y轴导轨和Y轴步进电机组件，Y轴导轨设置在Y轴运动座的表面，步进电机组件包括第一步进电机组件和第二步进电机组件，第一步进电机组件设置在Y轴运动座的前端，第二步进电机组件设置在Y轴运动座的后端，第一步进电机组件与第二步进电机组件之间连接有第一皮带与第二皮带;X轴移动平台包括可沿Y轴导轨滑动的第一X轴移动平台和第二X轴移动平台，第一X轴移动平台固定在第一皮带上，由第一步进电机组件带动移动，第二X轴移动平台固定在第二皮带上，由第二步进电机组件带动移动; 第一X轴移动平台上设有用于固定CCD镜头的第一固定座，第一固定座由第一X轴移动平台带动沿X轴方向移动，第二X轴移动平台上设有用于固定CCD镜头的第二固定座，第二固定座由第二X轴移动平台带动沿X轴方向移动。
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