[实用新型]一种方便调节温度梯度的蓝宝石单生长炉保温装置有效
申请号: | 201420810934.7 | 申请日: | 2014-12-18 |
公开(公告)号: | CN204589378U | 公开(公告)日: | 2015-08-26 |
发明(设计)人: | 黄小卫;李涛;赵慧彬;杨敏 | 申请(专利权)人: | 福建鑫晶精密刚玉科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B35/00 |
代理公司: | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人: | 连耀忠;杨锴 |
地址: | 364000 福建省龙岩市*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种方便调节温度梯度的蓝宝石单生长炉保温装置,包括上隔热屏、侧控温系统、下保温系统,侧控温系统的侧壁在高度方向上设置不同厚度,用于调整蓝宝石单生长炉内的温度梯度。本实用新型能轻松做到通过每个炉次生产出的晶体品质对保温系统进行适度调节,从而形成适合于大尺寸、高品质蓝宝石单晶生长的温场梯度,提高大尺寸晶体的品质;保温结构功能多元化、灵活性强、可调节,并可大幅度降低能耗;同时,可解决传统钨钼保温结构在高温环境下变形、使用寿命短、成本高等问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 方便 调节 温度梯度 蓝宝石 生长 保温 装置 | ||
【主权项】:
一种方便调节温度梯度的蓝宝石单生长炉保温装置,包括上隔热屏、侧控温系统、下保温系统,其特征在于,侧控温系统的侧壁在高度方向上设置不同厚度或不同高度,用于调整蓝宝石单生长炉内的温度梯度;侧控温系统包括钨桶、保温桶、调温桶、紧固桶,钨桶、保温桶、调温桶、紧固桶依次由内至外套装为一体。
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