[实用新型]一种树脂铜盘用研磨盘有效
| 申请号： | 201420827332.2 | 申请日： | 2014-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN204339540U | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 周小勇;蔡伦 | 申请（专利权）人： | 扬州合晶科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/16 | 分类号： | B24B37/16 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 赵秀斌 |
| 地址： | 225100 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶片加工装置领域，公开了一种树脂铜盘用研磨盘，包括陶瓷盘，陶瓷盘背面设置有把手，且陶瓷盘正面均匀设置有多个钻石砂轮，其中，钻石砂轮为圆形片状，且钻石砂轮的直径为10-50mm，钻石砂轮选择50-400目，所述钻石砂轮的外端面在同一平面上，以保证树脂铜盘的平整度，本实用新型结构简单，操作方便，且提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 树脂 铜盘用 研磨 | ||
【主权项】：
一种树脂铜盘用研磨盘，其特征在于，包括陶瓷盘，所述陶瓷盘背面设置有把手，且陶瓷盘正面均匀设置有多个钻石砂轮。
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