[实用新型]一种管式PECVD风冷炉体结构

摘要

本实用新型公开了一种管式PECVD风冷炉体结构，包括：石英管，设于石英管两端的石英管定位圈，及由内至外依次设于石英管外围隔热层和壳体；所述石英管与隔热层之间存在间隙形成第一通道，加热线圈均匀设于第一通道内，所述第一通道的两端分别开设有与外界空气相连通的第一进气口和第一排气口，第一进气口和第一排气口设有阀门。所述壳体为双层结构，内壳体与外壳体之间存在间隙形成第二通道，所述第二通道的两端分别设有与外界空气相连通的第二进气口和第二排气口，第二进气口设有阀门。对炉体内部通入空气，利用空气流动，带走热量排到炉体外部，从而加速内部冷却效率、降低炉体表面温度，缩短工艺周期，提升产能。

主权项

一种管式PECVD风冷炉体结构，包括：石英管（1），设于石英管两端的石英管定位圈（6），及由内至外依次设于石英管外围隔热层（3）和壳体，其特征在于：所述石英管与隔热层之间存在间隙形成第一通道，加热线圈（2）均匀设于第一通道内，所述第一通道的两端分别开设有与外界空气相连通的第一进气口（10）和第一排气口（11），第一进气口和第一排气口设有阀门。