[实用新型]一种压阻式加速度传感器

摘要

本实用新型提供一种压阻式加速度传感器，该传感器的改进点在于敏感结构部分，敏感结构中的质量块左右两侧对称设有相互独立的各四个敏感梁，每个敏感梁上设一个力敏电阻；四个敏感梁的两侧各设一个用于支撑质量块的支撑梁，将力敏电阻制作在独立的敏感梁上可减小敏感梁的宽度，从而显著减小敏感梁对结构倔强系数的影响，获得高灵敏度和高优值；敏感梁靠近质量块中线位置，其挠曲较小，可减小旁轴灵敏度。支撑梁靠近质量块边缘，其力臂长，可更好地抑制旁轴加速度引起的质量块扭转。支撑梁上表面较低，表面无氧化层，可减小氧化层应力引起的结构挠曲。敏感梁厚度大于支撑梁，可实现应力集中，从而提高灵敏度和优值。

主权项

一种压阻式加速度传感器，其特征在于，所述压阻式加速度传感器至少包括：敏感结构；分别键合于该敏感结构正面的上盖板及其背面的下盖板；所述敏感结构包括：矩形外边框、位于所述矩形外边框内中心位置的质量块；所述质量块相对于所述矩形外边框的两组对边分别对称；所述质量块的左右两侧分别设有两个固定并连接于所述质量块和矩形外边框之间的支撑梁；所述质量块左右两侧每一侧的两个所述支撑梁之间各设有四个连接于所述质量块以及所述矩形外边框之间的敏感梁；所述敏感梁、质量块以及矩形外边框各自的上表面位于同一平面；位于所述质量块同一侧的所述敏感梁较所述支撑梁更集中分布于所述质量块沿左右方向的中心轴线附近；位于所述质量块同一侧的所述四个敏感梁，两两为一组彼此关于所述质量块的所述中心轴线对称分布；所述每个敏感梁的头部或尾部分别设有一个力敏电阻；与所述质量块的所述中心轴线距离最近的四个敏感梁上的力敏电阻在各自敏感梁上的位置一致；与所述质量块的所述中心轴线距离最远的四个敏感梁上的力敏电阻在各自敏感梁上的位置一致；所述支撑梁与所述敏感梁各自的下表面位于同一平面且所述支撑梁的上表面低于所述敏感梁的上表面；所述敏感梁的宽度远小于所述支撑梁的宽度；所述每个敏感梁上设有连接该敏感梁上力敏电阻两端的金属引线；所述敏感梁的宽度略宽于所述力敏电阻和金属引线的宽度。