[实用新型]一种旋转靶材厚度测量装置有效
| 申请号： | 201420842648.9 | 申请日： | 2014-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN204286368U | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 王志强;曾墩风;罗文富;曾青云 | 申请（专利权）人： | 厦门映日新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 方惠春 |
| 地址： | 361000 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种旋转靶材厚度测量装置，该厚度测量装置包括位于靶材真空罐体内的红外线探测仪，及位于靶材真空罐体外且与红外线探测仪电连接的控制箱；所述红外线探测仪固定在靶材低压真空热喷涂罐内且其位于喷枪一侧，从而形成所述红外线探测仪到背管之间距离测试结构。本实用新型利用测量红外线探测仪向背管表面之间距离确定基准值，进而在喷涂过程中前述基准值随之减少，而减少的数据为靶材喷涂的厚度，从而实现喷涂旋转靶材全过程追踪靶材厚度，精确控制喷涂时间和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 厚度 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种旋转靶材厚度测量装置，其特征在于：该厚度测量装置包括位于靶材真空罐体内的红外线探测仪，及位于靶材真空罐体外且与红外线探测仪电连接的控制箱；所述红外线探测仪固定在靶材低压真空热喷涂罐内且其位于喷枪一侧，从而形成所述红外线探测仪到背管之间距离测试结构。
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