[实用新型]一种用于超高真空系统的高精度磁传动馈通装置

摘要

本实用新型属于磁力真空密封技术领域，具体为一种用于超高真空系统的高精度磁传动馈通装置。其包括由外向内、依次嵌套的同心的空心圆柱体外壳、外磁套、隔离密封套、内磁套和内轴；外固定刻度环设置于外壳和外磁套的顶端，半边法兰设置于外固定刻度环顶部；外磁体和内磁体分别竖直排列于外磁套和内磁套的内侧壁上，外轴承嵌套在隔离密封轴套外侧的下部，内轴承置于内磁体的下侧；内轴外壁紧贴内磁套内侧壁。隔离密封套内部为真空状态；当转动外磁套，引起内磁套的转动，使得内轴产生转动。本实用新型的优点在于大大提高了磁传动馈通装置旋转精度；并且可以通过非真空环境下转动操作，联动真空环境下的轴转动，操作简单。

主权项

一种用于超高真空系统的高精度磁传动馈通装置，其特征在于包括外壳（1）、外磁套（2）、外固定刻度环（3）、固定顶紧螺丝（4）、半边法兰（5）、外磁体（6）、隔离密封套（7）、外轴承（8）、内磁体（9）、内磁套（10）、内轴承（11）、内轴（12）、内固定环（13）和辅助导向轴承（14）；其中，外壳（1）、外磁套（2）、隔离密封套（7）、内磁套（10）和内轴（12）为由外向内、依次嵌套的同心的空心圆柱体；所述外壳（1）与外磁套（2）固定连接，且两者顶端齐平；所述外固定刻度环（3）为侧壁带有刻度的空心圆柱体，设置于外壳（1）和外磁套（2）的顶端，固定顶紧螺丝（4）与外固定刻度环（3）侧边贯穿连接；所述半边法兰（5）再设置于外固定刻度环（3）顶部且固定连接；所述隔离密封套（7）的顶端与半边法兰（5）顶端齐平；所述外磁体（6）为若干根长方体磁条，均匀竖直排列于外磁套（2）内侧壁上且固定连接，即外磁体（6）位于外磁套（2）与隔离密封套（7）之间；所述外轴承（8）嵌套在隔离密封轴套（7）外侧的下部，且被外壳（1）包围；所述内磁体（9）为若干根长方体磁条，均匀竖直排列于内磁套（10）的外侧壁上且固定连接，同时内磁体（9）与隔离密封轴套（7）内侧贴合；所述内轴承（11）置于内磁体（9）的下侧，底部支撑在隔离密封套（7）的内侧；所述内轴（12）外壁紧贴内磁套（10）内侧壁，且上端部与内固定环（13）连接；所述辅助导向轴（14）承嵌套在内轴（12）的底部，且辅助导向轴（14）的外侧面与隔离密封套（7）内壁贴合；所述隔离密封套（7）内为超真空状态；所述外磁体（6）和内磁体（9）不接触隔离密封轴套（7）管壁。