[实用新型]遮挡架有效
申请号: | 201420844041.4 | 申请日: | 2014-12-25 |
公开(公告)号: | CN204325477U | 公开(公告)日: | 2015-05-13 |
发明(设计)人: | 林国华 | 申请(专利权)人: | 江西昌佳鑫科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C14/54 |
代理公司: | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 33228 | 代理人: | 代忠炯 |
地址: | 337000 江西省萍乡市*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 一种遮挡架,包括由真空镀膜机电机带动旋转的旋转杆(1)、水平安装于旋转杆(1)顶部的支撑杆(2)、安装在支撑杆(2)端部且呈水平状态的挡盘(3),所述的挡盘(3)位于Ti3O5挥发台的上方。该遮挡架可有效降低Ti3O5在镀层中的含量。 | ||
搜索关键词: | 遮挡 | ||
【主权项】:
一种遮挡架,其特征在于:包括由真空镀膜机电机带动旋转的旋转杆(1)、水平安装于旋转杆(1)顶部的支撑杆(2)、安装在支撑杆(2)端部且呈水平状态的挡盘(3),所述的挡盘(3)位于Ti3O5挥发台的上方。
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