[实用新型]新型石英缸有效
| 申请号： | 201420844253.2 | 申请日： | 2014-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN204271053U | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 李运金;王毅;韩荣明 | 申请（专利权）人： | 扬州扬杰电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 周全 |
| 地址： | 225008 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 新型石英缸。涉及半导体电子元器件制造技术领域。提出了一种结构新型、使用方便，可实现多余酸液的定量排出、且安全性极高的新型石英缸。包括顶部敞口的缸体，所述石英缸还包括虹吸组件，所述虹吸组件包括小管、大管、活塞、连杆和端盖；所述大管固定连接在缸体的外壁上、且大管的底端延伸至缸体的下方，所述小管设在缸体内、且小管的底端与缸体的底面具有间隙，所述小管的顶端和大管的顶端相连通；所述活塞的外径与大管的内径一致、且滑动连接在大管内，所述连杆与活塞的底面固定连接、且伸出至大管的底口外，所述端盖套接在连杆上、且与大管的底端可拆卸的连接。具有使用方便、结构原理清晰，可实现多余酸液的定量排出、且安全性极高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 石英 | ||
【主权项】：
新型石英缸，包括顶部敞口的缸体，其特征在于，所述石英缸还包括虹吸组件，所述虹吸组件包括小管、大管、活塞、连杆和端盖；所述大管固定连接在缸体的外壁上、且大管的底端延伸至缸体的下方，所述小管设在缸体内、且小管的底端与缸体的底面具有间隙，所述小管的顶端和大管的顶端相连通；所述活塞的外径与大管的内径一致、且滑动连接在大管内，所述连杆与活塞的底面固定连接、且伸出至大管的底口外，所述端盖套接在连杆上、且与大管的底端可拆卸的连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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