[实用新型]硅片研磨浆料自动搅拌装置有效
| 申请号： | 201420853122.0 | 申请日： | 2014-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN204352800U | 公开（公告）日： | 2015-05-27 |
| 发明（设计）人： | 岳佳佳;简建至;胡厚福 | 申请（专利权）人： | 冠礼控制科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B01F7/18 | 分类号： | B01F7/18;B01F15/00 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 杨军;袁步兰 |
| 地址： | 200131 上海市浦东新区上海市外高*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片研磨浆料自动搅拌装置，包括安装支架(1)、升降电机(2)、升降滑轨(3)、搅拌电机(4)、搅拌桨(5)和控制箱(6)，升降电机(2)的输出端连接升降滑轨(3)上的滑块(7)，搅拌电机(4)固定在滑块(7)上，搅拌电机(4)的输出端连接搅拌桨(5)，搅拌桨(5)的端部设有搅拌桨叶(8)，搅拌桨(5)、搅拌桨叶(8)均采用304不锈钢制成，搅拌桨(5)、搅拌桨叶(8)的表面均涂覆有耐腐层，升降电机(2)、搅拌电机(4)通过PLC连接控制箱(6)；本实用新型同现有技术相比，结构新颖、简单，能够满足半导体硅片制造的苛刻的使用需求，且具有良好的耐磨性，使得维护成本降低。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 研磨 浆料 自动 搅拌 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片研磨浆料自动搅拌装置，其特征在于：包括安装支架(1)、升降电机(2)、升降滑轨(3)、搅拌电机(4)、搅拌桨(5)和控制箱(6)，所述升降电机(2)、升降滑轨(3)安装在安装支架(1)上，所述升降电机(2)的输出端连接升降滑轨(3)上的滑块(7)，所述搅拌电机(4)固定在滑块(7)上，所述搅拌电机(4)的输出端连接搅拌桨(5)，所述搅拌桨(5)的端部设有搅拌桨叶(8)，所述搅拌桨(5)、搅拌桨叶(8)均采用304不锈钢制成，所述搅拌桨(5)、搅拌桨叶(8)的表面均涂覆有耐腐层，所述升降电机(2)、搅拌电机(4)通过PLC连接控制箱(6)。
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