[实用新型]芯片多步顶治具有效
申请号: | 201420854601.4 | 申请日: | 2014-12-30 |
公开(公告)号: | CN204375708U | 公开(公告)日: | 2015-06-03 |
发明(设计)人: | 严德青;殷建峰 | 申请(专利权)人: | 江苏长电科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人: | 唐纫兰;沈国安 |
地址: | 214434 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种芯片多步顶治具,其特征在于它包括自下而上依次连接的基座(1)、导向杆(2)和顶杆(3),在所述导向杆(2)上设置有内罩(4),在所述内罩(4)上依次套置有下滑套(5)和上滑套(6),顶杆(3)外围由内而外依次套设有第一顶杆套(8)和第二顶杆套(9),在所述下滑套(5)和上滑套(6)上的外罩(7)之间设置有第一压缩弹簧(10),所述基座(1)与下滑套(5)之间设置有第二压缩弹簧(11)。本实用新型由顶针的一步顶起改为三步或二步顶起,以缓冲压力,同时顶针结构改为内外镶嵌的凸台结构,增加受力面积,防止芯片在剥离时造成隐裂而损坏芯片。 | ||
搜索关键词: | 芯片 多步顶治具 | ||
【主权项】:
一种芯片多步顶治具,其特征在于它包括自下而上依次连接的基座(1)、导向杆(2)和顶杆(3),在所述导向杆(2)上设置有内罩(4),在所述内罩(4)上依次套置有下滑套(5)和上滑套(6),在所述上滑套(6)的外围设置有外罩(7),在所述上滑套(6)上方的顶杆(3)外围由内而外依次套设有与内罩(4)相连的第一顶杆套(8)和与外罩(7)相连的第二顶杆套(9),在所述下滑套(5)和上滑套(6)上的外罩(7)之间设置有第一压缩弹簧(10),所述基座(1)与下滑套(5)之间设置有第二压缩弹簧(11)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏长电科技股份有限公司;,未经江苏长电科技股份有限公司;许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201420854601.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种高温固晶芯片膜结构
- 下一篇:一种用于半导体反应腔室的清洗装置
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造