[实用新型]掩膜板有效
| 申请号： | 201420854725.2 | 申请日： | 2014-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN204803391U | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 潘晟恺 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李亚非;景军平 |
| 地址： | 230011 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩膜板，其包括非金属层和贯穿所述非金属层的镂空图案。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 | ||
【主权项】：
一种掩膜板，包括非金属层和贯穿所述非金属层的镂空图案，其特征在于所述非金属层是预拉伸的。
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