[实用新型]一种可切换双腔体的反应腔

摘要

本实用新型涉及半导体工艺设备技术领域，提供了一种可切换双腔体的反应腔，包括双腔体的反应腔，反应腔内设有控制单元以及可移动的隔板，控制单元用于控制隔板的移动，以使隔板将反应腔分割成第一反应腔以及第二反应腔；反应腔的一端连接气体输送系统以及气体控制阀；反应腔的另一端连接真空抽气系统以及真空控制阀。本实用新型通过在双腔体的反应腔中设置可移动的隔板，使反应腔分成两个单腔体，两个单腔体的一端分别连接气体输送系统从而分别对单腔体输送气体，两个单腔体的另一端分别连接真空抽气系统从而分别使单腔体排空气体，本实用新型可灵活切换单腔体和双腔体，避免了生产资源的浪费，提高了生产效率，降低成本。

主权项

一种可切换双腔体的反应腔，包括双腔体的反应腔，其特征在于，所述反应腔内设有控制单元以及可移动的隔板，所述控制单元用于控制所述隔板的移动，以使所述隔板将所述反应腔分割成第一反应腔以及第二反应腔；所述反应腔的一端连接气体输送系统，所述气体输送系统包括与第一反应腔连通的第一气体输送管道，以及与第二反应腔连通的第二气体输送管道；其中，所述第一气体输送管道以及第二气体输送管道上均设有气体控制阀；所述反应腔的另一端连接真空抽气系统，所述真空抽气系统包括与第一反应腔连通的第一真空抽气管道，以及与第二反应腔连通的第二真空抽气管道；其中，所述第一真空抽气管道以及第二真空抽气管道上均设有真空控制阀。