[实用新型]铬版曝光治具及使用该治具的光刻机有效
| 申请号： | 201420859243.6 | 申请日： | 2014-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN204314606U | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 杜武兵;林伟;黄国勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市维邦知识产权事务所 44269 | 代理人： | 黄莉 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种铬版曝光治具及使用该治具的光刻机，所述治具包括将铬版在第一轴向上定位的第一轴向定位条，与第一轴向定位条一体成型且垂直呈十字形设置的、将铬版在第二轴向上定位的第二轴向定位条，第一轴向定位条或/和第二轴向定位条的两端设有与外部曝光平台上的气孔匹配的定位孔，以使得定位钉穿过所述定位孔和气孔将所述治具定位固定。本实用新型实施例通过采用相互垂直呈十字形设置的第一轴向定位条和第二轴向定位条，且第一轴向定位条或/和第二轴向定位条的两端设有与曝光平台上的气孔匹配的定位孔以进行定位的技术手段，从而实现了一次曝光多张铬版，达到了提示机器利用率，减少工时浪费，提升生产效率的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 使用 光刻 | ||
【主权项】：
一种铬版曝光治具，其特征在于，所述治具用于定位放置多片铬版进行曝光，包括将铬版在第一轴向上定位的第一轴向定位条，与第一轴向定位条一体成型且垂直呈十字形设置的、将铬版在第二轴向上定位的第二轴向定位条，第一轴向定位条或/和第二轴向定位条的两端设有与外部曝光平台上的气孔匹配的定位孔，以使得定位钉穿过所述定位孔和气孔将所述治具定位固定。
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