[实用新型]一种集成三轴磁传感器

摘要

本实用新型公开了一种集成三轴磁传感器，包括检测垂直磁场的平面霍尔板、检测平行方向x方向的磁场的纵向霍尔板以及检测平行方向y方向的磁场的纵向霍尔板。本实用新型集成三轴磁传感器集成了感应垂直和平行于传感器三个方向磁场强度的磁传感器，并且利用对称结构以及对称连接关系避免了失调电压对后续电路的影响。可以兼容高压CMOS工艺，不需提供额外的mask版以及工序，在提供集成可行性的同时，也有效降低了成本。

主权项

一种集成三轴磁传感器，其特征在于，包括检测垂直磁场的平面霍尔板、检测平行方向x方向的磁场的纵向霍尔板以及检测平行方向y方向的磁场的纵向霍尔板；所述检测垂直磁场的平面霍尔板由中间四个霍尔板b1、b2、b3、b4构成，b1的1端、b2的1端、b3的1端和b4的1端相连作为该霍尔板一信号端Z1；b1的2端、b2的2端、b3的2端和b4的2端相连作为该霍尔板的一信号端Z2；b1的3端、b2的3端、b3的3端和b4的3端相连作为该霍尔板的一信号端Z3；b1的4端、b2的4端、b3的4端和b4的4端相连作为该霍尔板的一信号端Z4；所述检测平行方向x方向的磁场的纵向霍尔板由左右两侧的霍尔板a7、a8、a3、a4构成，a8的2端、a4的1端和5端、a7的3端、a3的4端相连作为该霍尔板一信号端X1；a3的1端和5端、a7的4端、a4的2端、a8的3端相连作为该霍尔板一信号端X2；a8的4端、a4的3端、a7的1端和5端、a3的2端相连作为该霍尔板一信号端X3；a3的3端、a7的2端、a4的4端、a8的1端和5端相连作为该霍尔板一信号端X4；所述检测平行方向y方向的磁场的纵向霍尔板由上下两侧的霍尔板a1、a2、a5、a6构成，a1的2端、a2的1端和5端、a5的3端、a4的4端相连作为该霍尔板一信号端Y1；a1的1端和5端、a2的4端、a5的2端、a4的3端相连作为该霍尔板一信号端Y2；a1的4端、a2的3端、a5的1端和5端、a4的2端相连作为该霍尔板一信号端Y3；a1的3端、a2的2端、a5的4端、a4的1端和5端相连作为该霍尔板一信号端Y4。