[实用新型]一种用于光刻机楔板斜面加工的夹具工装

摘要

一种用于光刻机楔板斜面加工的夹具工装，包括凸台状的楔板粘接平台、具有螺孔的工装定位平台、具有螺孔的小压板、圆柱形第一垫块、T形M6滑块、M6双头螺柱、弹性波浪垫圈和第二垫块；所述的楔板粘接平台通过第一螺母、穿过螺柱的小压板与工装定位平台固定连接，所述的第二垫块设置在所述的小压板和工装定位平台之间；所述的工装定位平台通过所述的M6双头螺柱与弹性波浪垫圈、圆柱形第一垫块和T形M6滑块依次连接。本实用新型有效的保证斜面的精度、中心厚度要求，使产品的报废率大大降低，成功率保持在90％以上。

主权项

一种用于光刻机楔板斜面加工的夹具工装，其特征在于，包括凸台状的楔板粘接平台(1)、具有螺孔的工装定位平台(5)、具有螺孔的小压板(8)和圆柱形第一垫块(3)、T形M6滑块(1)、M6双头螺柱(2)、弹性波浪垫圈(4)和第二垫块(10)；所述的楔板粘接平台(6)通过第一螺母(7)、穿过螺柱(12)的小压板(8)与工装定位平台(5)固定连接，所述的第二垫块(10)设置在所述的小压板(8)和工装定位平台(5)之间；所述的工装定位平台(5)通过所述的M6双头螺柱(2)与弹性波浪垫圈(4)、圆柱形第一垫块(3)和T形M6滑块(1)依次连接。