[实用新型]一种硅片清洗装置有效
| 申请号： | 201420870668.7 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN204523685U | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | 赵曾男;李伟;刘效岩 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;B08B3/02;B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 郝瑞刚 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体集成电路器件技术领域，公开了一种硅片清洗装置包括：喷液管、喷气管、驱动装置及旋转体；待清洗的硅片固定设置于所述旋转体上，所述驱动装置驱动所述旋转体沿其轴向转动，所述喷液管的一端设置有喷液口，所述喷液口对应于所述旋转体设置，所述驱动装置驱动所述喷液管沿所述旋转体的轴向转动，所述喷气管的一端对应于所述喷液口设置有第一出气孔。本实用新型提供的硅片清洗装置对应喷液口引入保护气体，使药液在工艺过程中尽可能少的接触空气，提升了清洗效果。具有结构简单及稳定性强广的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片清洗装置，其特征在于，包括：喷液管(5)、喷气管(6)、驱动装置及旋转体(2)；待清洗的硅片固定设置于所述旋转体(2)上，所述驱动装置驱动所述旋转体(2)沿其轴向转动，所述喷液管(5)的一端设置有喷液口(10)，所述喷液口(10)对应于所述旋转体(2)设置，所述驱动装置驱动所述喷液管(5)沿所述旋转体(2)的轴向转动，所述喷气管(6)的一端对应于所述喷液口(10)设置有第一出气孔。
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