[实用新型]一种水平区熔多晶硅铸锭炉有效
申请号: | 201420871908.5 | 申请日: | 2014-12-31 |
公开(公告)号: | CN204385319U | 公开(公告)日: | 2015-06-10 |
发明(设计)人: | 惠梦君 | 申请(专利权)人: | 惠梦君 |
主分类号: | C30B28/08 | 分类号: | C30B28/08;C30B29/06 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 张海英;徐鹏飞 |
地址: | 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种水平区熔多晶硅铸锭炉,包括炉体外壳、坩埚、坩埚支撑和加热器,所述坩埚设置在坩埚支撑内,所述炉体外壳内设置有固定保温层,所述坩埚和坩埚支撑位于固定保温层内,所述坩埚为长度大于宽度的长条形坩埚,相应的所述坩埚支撑也为长条形,所述加热器为设置在坩埚和坩埚支撑的外侧可沿坩埚长度方向水平移动的移动加热器,且所述移动加热器的加热面长度小于坩埚的长度,所述移动加热器外侧设置有一层与其一起水平移动的移动保温层。所述水平区熔多晶硅铸锭炉,实现了硅原料水平区域熔化,晶粒尺寸容易长大,易获得准单晶,在一定条件下还可产生N型准单晶硅,且部加热,使得能耗降低,大大降低了成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 水平 多晶 铸锭 | ||
【主权项】:
一种水平区熔多晶硅铸锭炉,包括炉体外壳、坩埚、坩埚支撑和加热器,所述坩埚设置在坩埚支撑内,其特征在于:所述炉体外壳内设置有固定保温层,所述坩埚和坩埚支撑位于固定保温层内,所述坩埚为长度大于宽度的长条形坩埚,相应的所述坩埚支撑也为长条形,所述加热器为设置在坩埚和坩埚支撑的外侧可沿坩埚长度方向水平移动的移动加热器,且所述移动加热器的加热面长度小于坩埚的长度,所述移动加热器外侧设置有一层与移动加热器一起水平移动的移动保温层。
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