[实用新型]一种聚集离子束的真空系统有效
| 申请号： | 201420872273.0 | 申请日： | 2014-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN204348679U | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 尚跃;余夕霞 | 申请（专利权）人： | 上海聚跃电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J41/12 | 分类号： | H01J41/12 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 200233 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种聚集离子束的真空系统，所述真空系统包括真空泵、分子泵、样品室、气缸阀和排气阀，所述真空泵通过管道分别与分子泵、样品室连接，所述样品室安装在分子泵的顶部，所述气缸阀位于分子泵与样品室之间，所述气缸阀与分子泵密封连接，所述排气阀安装在真空泵与样品室之间的管道上。本实用新型提供的聚集离子束的真空系统的工作效率高、能完全避免分子泵损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚集 离子束 真空 系统 | ||
【主权项】：
一种聚集离子束的真空系统，其特征在于，所述真空系统包括真空泵、分子泵、样品室、气缸阀和排气阀，所述真空泵通过管道分别与分子泵、样品室连接，所述样品室安装在分子泵的顶部，所述气缸阀位于分子泵与样品室之间，所述气缸阀与分子泵密封连接，所述排气阀安装在真空泵与样品室之间的管道上。
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