[发明专利]研磨装置、研磨垫的贴附方法及研磨垫的更换方法在审
| 申请号： | 201480000553.5 | 申请日： | 2014-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN104968472A | 公开（公告）日： | 2015-10-07 |
| 发明（设计）人： | 小菅隆一;曾根忠一;矶部壮一;樱井武史;平井英治;滨浦薰;小仓大 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/12;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 梅高强;刘煜 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种研磨装置(100)，具有研磨台(110)，该研磨台具有贴附用于研磨基板(102)的研磨垫(108)的贴附面(110a)。另外，研磨装置(100)具有设在研磨台(110)的贴附面(110a)上、且夹在研磨台(110)与研磨垫(108)之间的硅酮层(111)。通过夹有该硅酮层，可容易地对研磨垫(108)进行剥离、贴附。另外，由于将硅酮层(111)涂布在研磨台(110)上的热处理能用较低的温度进行，故可抑制热处理引起的研磨台(110)的热损伤，且容易进行研磨垫的更换操作。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 方法 更换 | ||
【主权项】：
一种研磨装置，其特征在于，具有：研磨台，该研磨台具有贴附用于研磨基板的研磨垫的贴附面；以及硅酮层，该硅酮层设在所述研磨台的贴附面上，且夹在所述研磨台与所述研磨垫之间。
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