[发明专利]复合掩膜板及其制造方法、复合掩膜板组件在审
| 申请号： | 201480000657.6 | 申请日： | 2014-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN105579610A | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 孙尚传 | 申请（专利权）人： | 安徽省大富光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/06 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 何青瓦 |
| 地址： | 233000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种复合掩膜板的制造方法、复合掩膜板及复合掩膜板组件，复合掩膜板的制造方法包括：提供支撑片材(12)，所述支撑片材(12)具有第一表面(21)和与所述第一表面(21)相对的第二表面(11)；在支撑片材(12)的第一表面(21)通过电铸工艺生长出掩膜图案(31)，其中掩膜图案(31)具有多个第一开口(32)；在支撑片材(12)的与第一表面(21)相对的第二表面(11)形成多个第二开口(121)，其中第二开口(121)与第一开口(32)连通，进而形成掩膜通道。通过上述方式，能够使得掩膜图案(31)上的第一开口(32)尺寸可以做的更小，掩膜图案(31)更加精细，从而可以提高最终的OLED产品的分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 掩膜板 及其 制造 方法 组件 | ||
【主权项】：
PCT国内申请，权利要求书已公开。
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