[发明专利]连续镀覆用图案形成滚筒及其制造方法有效
| 申请号： | 201480001006.9 | 申请日： | 2014-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN104220647B | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 重田龙男 | 申请（专利权）人： | 株式会社新克 |
| 主分类号： | C25D7/06 | 分类号： | C25D7/06;C23F1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 韩聪 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种消除侧面蚀刻的问题且绝缘层的密接性优异的连续镀覆用图案形成滚筒及其制造方法。在能镀覆的圆筒状金属基材的表面涂敷光致抗蚀剂，使其曝光、显影来形成抗蚀剂图案部和非抗蚀剂图案部，对上述非抗蚀剂图案部的上述圆筒状金属基材进行蚀刻来形成蚀刻凹部，在上述蚀刻凹部以及抗蚀剂图案部的表面形成DLC被覆膜，按每个上述抗蚀剂图案部来剥离形成在上述抗蚀剂图案部上的DLC被覆膜，并使上述DLC被覆膜残留于上述蚀刻凹部内，由此形成该连续镀覆用图案形成滚筒。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 镀覆 图案 形成 滚筒 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种连续镀覆用图案形成滚筒，其特征在于，在能镀覆的圆筒状金属基材的表面涂敷光致抗蚀剂，使其曝光、显影来形成抗蚀剂图案部和非抗蚀剂图案部，对上述非抗蚀剂图案部的上述圆筒状金属基材进行蚀刻来形成蚀刻凹部，在上述蚀刻凹部以及抗蚀剂图案部的表面形成DLC被覆膜，按每个上述抗蚀剂图案部来剥离形成在上述抗蚀剂图案部上的DLC被覆膜，并使上述DLC被覆膜残留于上述蚀刻凹部内，由此形成该连续镀覆用图案形成滚筒。
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