[发明专利]一种电镀槽及电镀装置在审
申请号: | 201480001106.1 | 申请日: | 2014-08-11 |
公开(公告)号: | CN104302815A | 公开(公告)日: | 2015-01-21 |
发明(设计)人: | 朱拓;姜雪飞;韩焱林;田小刚 | 申请(专利权)人: | 深圳崇达多层线路板有限公司 |
主分类号: | C25D17/02 | 分类号: | C25D17/02;C25D17/12;C25D21/06 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人: | 刘贻盛 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及电镀技术领域,具体为一种电镀槽及应用该电镀槽的电镀装置。电镀槽包括一槽体,槽体内相向的两槽壁上分别设有一壁面阳极,两壁面阳极之间设有至少一间隔阳极,壁面阳极和间隔阳极在槽体内等距分布;间隔阳极将槽体分成至少两个槽位,各槽位在间隔阳极的下方相互连通;间隔阳极由一绝缘板及分别设于绝缘板两面的单阳极组成。本发明在电镀槽中设间隔阳极,使各槽位内形成相对独立的电场,避免了两个缸体电流的交叉影响。间隔阳极与槽体底部之间预留间隙,使各槽体中的电镀液可相互流通。通过间隔阳极和循环过滤机构的配合,即可使电镀液充分混合,长时间保持均一性,又不会影响电镀环境的稳定性,从而提高镀层的均匀性。 | ||
搜索关键词: | 一种 电镀 装置 | ||
【主权项】:
一种电镀槽,包括一槽体,其特征在于:所述槽体内相向的两槽壁上分别设有一壁面阳极,所述两壁面阳极之间设有至少一间隔阳极,所述壁面阳极和间隔阳极在槽体内等距分布;所述间隔阳极将槽体分成至少两个槽位,所述各槽位在间隔阳极的下方相互连通;所述间隔阳极由一绝缘板及分别设于绝缘板两面的单阳极组成。
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