[发明专利]透明阻气膜的制造方法、透明阻气膜的制造装置以及有机电致发光器件无效
| 申请号： | 201480001509.6 | 申请日： | 2014-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN104364415A | 公开（公告）日： | 2015-02-18 |
| 发明（设计）人： | 山田泰美 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;B32B15/08;C23C14/56;C23C16/54;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的透明阻气膜的制造方法是利用卷对卷方式来实施。该制造方法包括下述工序，使长条带状的树脂基板(8)交替地穿过蒸镀区域和非蒸镀区域，从而在上述长条带状的树脂基板(8)上蒸镀多个层，其中，在该蒸镀区域中，通过产生等离子体而使含有金属和准金属中的至少1种的材料蒸镀，在该非蒸镀区域中，不使上述材料蒸镀，在上述蒸镀区域中，通过使上述树脂基板(8)和等离子体源(52)之间的距离变化而在上述树脂基板(8)上形成透明阻气层，该透明阻气层具有多个密度沿厚度方向连续变化的层。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 阻气膜 制造 方法 装置 以及 有机 电致发光 器件 | ||
【主权项】：
一种透明阻气膜的制造方法，在该制造方法中使用了卷对卷方式，其中，该透明阻气膜的制造方法包括下述工序：使长条带状的树脂基板交替地穿过蒸镀区域和非蒸镀区域，从而在所述长条带状的树脂基板上蒸镀多个层，其中，在该蒸镀区域中，通过产生等离子体而使含有金属和准金属中的至少1种的材料蒸镀，在该非蒸镀区域中，不使所述材料蒸镀，在所述蒸镀区域中，通过使所述树脂基板和等离子体源之间的距离变化而在所述树脂基板上形成透明阻气层，该透明阻气层具有多个密度沿厚度方向发生连续变化的层。
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