[发明专利]用于提高质量流量控制器中的指示流量的系统和方法

摘要

公开了一种质量流量控制器和用于从所述质量流量控制器提供指示流量的相关方法。所述方法可以包括获得表示所述质量流量控制器所控制的流体的质量流速的测量流量信号；以及对所述测量流量信号进行滤波以生成用于提供所述流体的实际质量流速的表示的指示流量。将所述指示流量提供至所述质量流量控制器的操作员，并且基于所述测量流量信号的样本来确定所述流体的质量流速的变化率。然后，基于所述质量流速的变化率来调整与所述滤波相关地使用的时间常数。

主权项

一种用于从质量流量控制器提供指示流量的方法，所述方法包括以下步骤：获得表示所述质量流量控制器所控制的流体的质量流速的测量流量信号；对所述测量流量信号进行滤波，以生成用于提供所述流体的实际质量流速的表示的指示流量；将所述指示流量提供给所述质量流量控制器的操作员；对所述测量流量信号进行采样，并且基于所述测量流量信号的样本来确定所述流体的质量流速的变化率；以及进行用于基于所述质量流速的变化率来调整与所述滤波相关地使用的时间常数的调整操作，其中，所述调整操作包括以下步骤：增大所述时间常数，直到达到最大时间常数为止或直到所述质量流速的变化率超过阈值为止。