[发明专利]玻璃基板的制造方法以及玻璃基板制造装置

摘要

包括使用内壁的至少一部分由含有铂族金属的材料构成的处理装置，处理含有因还原反应而放出氧的澄清剂的熔融玻璃的工序。另外，在处理熔融玻璃的工序中，在由处理装置的内壁和熔融玻璃的表面形成的气相空间中，通过调整从熔融玻璃放出的氧的量而控制气相空间的氧浓度，从而抑制铂族金属的挥发。另外，在处理装置的内部，以气泡放出量最大位置和熔融玻璃在熔融玻璃的流动方向的温度分布的最高温度位置、在熔融玻璃的流动方向上分开的方式调整气泡放出量最大位置，其中在气泡放出量最大位置，从熔融玻璃的表面放出至所述气相空间的气泡的放出量为最大。

主权项

1.一种玻璃基板的制造方法，使用处理熔融玻璃的处理装置处理熔融玻璃，其特征在于，具有熔解玻璃原料而生成熔融玻璃的工序，并包括处理含有因还原反应而放出氧的澄清剂的熔融玻璃的工序，在处理所述熔融玻璃的工序中，以在熔融玻璃的表面的上部形成气相空间的方式，向内壁的至少一部分由含有铂族金属的材料构成的处理装置的内部供给熔融玻璃，并且，在所述处理装置中，使所述熔融玻璃在沿着所述熔融玻璃的与所述气相空间接触的表面的方向上流动，所述处理装置中的与气相空间接触的内壁的温度具有沿所述熔融玻璃的流动方向的温度分布，在所述熔融玻璃的处理中，以所述熔融玻璃的流动方向的气泡放出量最大位置与所述熔融玻璃的流动方向上的所述温度分布的最高温度位置在所述熔融玻璃的流动方向上分开的方式调整所述气泡放出量最大位置而使所述气相空间的氧浓度为0～10％，其中，在所述气泡放出量最大位置，从与所述气相空间接触的熔融玻璃的表面放出至所述气相空间的气泡的放出量为最大，所述处理装置包括所述内壁的至少一部分由含有铂族金属的材料构成的、至少进行所述熔融玻璃的脱泡的澄清管，在所述澄清管上设置有用于连通所述气相空间和所述处理装置的外侧的大气的排气管，所述熔融玻璃的流动方向上的所述排气管的配置位置在所述气泡放出量最大位置和所述最高温度位置之间，在所述澄清管的外周设置有沿所述澄清管的外侧延伸的凸缘构件，所述凸缘构件的所述熔融玻璃的流动方向的配置位置位于所述气泡放出量最大位置和所述排气管的配置位置之间的区域以外的区域。