[发明专利]衍射光学元件、衍射光学元件的制造方法、以及衍射光学元件的制造方法中使用的模具无效
申请号: | 201480002043.1 | 申请日: | 2014-06-16 |
公开(公告)号: | CN104520736A | 公开(公告)日: | 2015-04-15 |
发明(设计)人: | 冈田夕佳;松冈耕一朗 | 申请(专利权)人: | 松下知识产权经营株式会社 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18;B29C33/42;G02B3/00;G11B7/1353;B29L11/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 安香子;黄剑锋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 衍射光学元件(101)具有:基体(102),在表面具有设有衍射光栅的第1区域(105)和位于第1区域的外侧的第2区域(106);光学调整层(103),设置于表面,以与第2区域(106)的至少一部分和第1区域(105)相接。在光学调整层(103)中的与第2区域(106)相接的部分的至少一部分,设有薄膜部分(107),该薄膜部分具有比光学调整层(103)中的与第2区域(106)相接的部分的最大膜厚小的膜厚。 | ||
搜索关键词: | 衍射 光学 元件 制造 方法 以及 使用 模具 | ||
【主权项】:
一种衍射光学元件,具有:基体,在表面具有设有衍射光栅的第1区域和位于所述第1区域的外侧的第2区域;以及光学调整层,设置在所述表面上,以与所述第2区域的至少一部分和所述第1区域相接;在所述光学调整层中的与所述第2区域相接的部分的至少一部分,设有薄膜部分,所述薄膜部分具有比所述光学调整层中的与所述第2区域相接的部分的最大膜厚小的膜厚。
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